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一种正性光刻胶及其制备方法
발명알 수 없음
8청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
俞灏洋; 徐亮; 黄巍; 石瑾; 景昱博
출원일
Aug 26, 2026
공개일
Oct 16, 2026
IPC 분류
G03F 7/039 (2006.01)C08G 8/12 (2006.01)
本申请属于光刻胶材料技术领域，具体涉及一种正性光刻胶及其制备方法。一种正性光刻胶，包括如下重量份的各组分：酚醛树脂100份、重氮萘醌化合物30‑45份、添加剂3‑5份、溶剂250‑350份；所述酚醛树脂由摩尔比为1:（0.75‑0.85）的酚类单体与醛类单体，通过缩聚反应制得；所述酚类单体包括摩尔比为（5‑6）:（5‑7）:（1‑2）的3‑甲基苯酚：4‑甲基苯酚：2，5‑二甲基苯酚。本申请中的正性光刻胶，提高了曝光区与未曝光区溶解速率差，能够满足i线光刻工艺对高分辨率、宽工艺窗口和低缺陷率的综合要求，具有良好的工业应用前景。
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