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一种激光直写成像扫描控制方法、系统及相关设备

발명알 수 없음
10청구항 · 4 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

黄文辉; 彭亮; 陈钢

출원일

Sep 8, 2026

공개일

Oct 16, 2026

IPC 분류

G03F 7/20 (2006.01)

本发明实施例提供了一种激光直写成像扫描控制方法、系统及相关设备,用于提高激光直写成像的一致性。方法包括:基于激光器阵列的排列参数,将待曝光图像按扫描行的奇偶行拆分为第一子图像和第二子图像,对第一子图像采用单颗激光器连续输出方式生成连续输出位置序列,对第二子图像生成混杂位置序列;将连续输出位置序列与混杂位置序列进行空间转换后合并,得到合并位置序列;基于合并位置序列计算得到混合输出步序;在每一个相邻激光间隔空间内,控制激光器阵列移动过程中使用多颗激光器按所述混合输出步序连续依次曝光。