基于时序变换器网络的沉积物体椭圆度调控系统及方法

本发明属于参数优化控制领域，尤其涉及基于时序变换器网络的沉积物体椭圆度调控系统及方法，包括：获取沉积过程中沉积物体表面温度时序数据、沉积对象圆周方向不同角度位置的实时点位转速及沉积时长；通过时序变换器网络模型对所述温度时序数据、实时点位转速及沉积时长进行处理，预估当前成形体在长轴方向与短轴方向对应的厚度范围，进而确定长轴尺寸与短轴尺寸并计算椭圆度参数；将椭圆度参数与预设目标椭圆度比较，生成包含圆周方向不同角度位置之间旋转速度比例系数的转速动态调整策略；根据所述比例系数调节各角度位置的实际旋转速度，改变对应位置的沉积物厚度；本发明实现椭圆度在线预测与闭环调控。