一种用于非接触喷淋的负压吸附式液滴回收装置

本发明涉及半导体加工设备自动化控制技术领域，尤其涉及一种用于非接触喷淋的负压吸附式液滴回收装置，包括设备装置以及控制装置，通过位置感测组件与宽频检波组件采集绝对空间坐标和宽频激波信号。数据采集模块将坐标转换为空间曲率向量；畸变演算模块利用流体力学推演流场分离奇点位置并输出旋涡壅塞指数；时滞预估模块演算柔性风管瞬态阻力增量并映射为时空多维动态延迟矩阵；波形寻优模块生成反相补偿声波拓扑图以输出射流激振参数和转速调节值。协同驱动模块依据时间提前量控制变频负压源与脉冲激振环同步动作，利用高压微气流和柯恩达效应重塑边界层速度型分布特征，消除随动弯折引发的非线性气阻突变，维持末端吸力稳定。