SEM成像多通道数据实时传输系统及方法

本发明公开了SEM成像多通道数据实时传输系统及方法，属于半导体检测设备技术领域。所述系统包括：FPGA主控板，用于采集多通道SEM图像数据并封装为含通道编号的数据流；PCIE传输卡，集成数据接收与解析模块、双队列FIFO缓存模块及多通道DMA引擎模块。所述解析模块分离控制信息与载荷数据，双队列FIFO分别缓存，DMA引擎依据通道编号将数据并行搬运至上位机对应存储空间，构成三级流水线架构。本发明通过FPGA硬件流水线架构与多通道独立DMA并行传输机制，解决了现有万兆网传输中CPU占用过高、数据通道拥堵及图像显示残影的问题，达到了实现多通道高吞吐量数据稳定、准确且低延迟实时传输，显著提升电子束检测设备成像效率与稳定性的技术效果。