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一种真空炉压力控制系统

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§ Ⅰ

개요

발명자

黄保强; 陈士利; 赖章田

출원일

Jul 20, 2026

공개일

Oct 16, 2026

IPC 분류

G05D 16/20 (2006.01)

本发明公开了一种真空炉压力控制系统。一种真空炉压力控制系统,包括与真空腔体对接的抽气支路,至少两个抽气支路与一总输出管路对接,总输出管路上安装有串联设置的过滤稳压单元,总输出管路对接三个并联设置的输出支路;三个输出支路分别为第一支路、第二支路以及第三支路;第一支路上安装有常闭式第一电磁阀以及手动截止阀;第二支路上安装有常闭式第二电磁阀;第三支路上安装有常闭式第三电磁阀以及电动蝶阀;三个并联的输出支路与二级罗茨泵的输入端对接导通,二级罗茨泵的一个外接端口连接常开式破真空电磁阀,二级罗茨泵的另一个外接端口连接真空旋片泵,真空旋片泵与大气排口对接导通。三条支路并联抽真空,适配多段阶梯真空工艺。

§ Ⅵ

특허 도면

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