一种变折射率薄膜抗激光损伤性能优化方法

本发明公开了一种变折射率薄膜抗激光损伤性能优化方法，涉及薄膜技术领域，其技术要点：第一步构建折射率分布模型，薄膜表层占总体厚度0~20%，为线性递减折射率层；薄膜主体占20%~80%，是抛物线型折射率层；薄膜底层占0%~80%，为低折射率缓冲层。第二步用多靶材共沉积技术，同步控制高、低折射率材料沉积速率调控折射率梯度。第三步在沉积时采用动态温度场控制，用红外加热与低温冷却循环抑制膜层缺陷。第四步在抛物线型折射率层掺杂纳米颗粒，设梯度热膨胀系数，让薄膜主体热膨胀系数逐级匹配表层到底层的变化。本发明能显著提升薄膜在强激光环境下的损伤阈值与稳定性。