一种纳米级及不规则形态缺陷识别方法及装置

本申请涉及半导体检测技术领域，为一种半导体芯片检测方法，具体为一种纳米级及不规则形态缺陷识别方法及装置。通过以视觉Transformer作为主干图像编码器，针对纳米级缺陷尺度小、局部纹理弱、边界不连续和高分辨率图像计算量大的特点，对编码器结构进行层级化和局部增强设计：先通过重叠图像块嵌入保留相邻图像块之间的边缘连续性，再通过多级Transformer编码阶段分别提取浅层纹理、中层形态和深层全局语义特征，并将各级输出特征输入特征金字塔模块进行融合；随后设置形变卷积分支提取缺陷轮廓特征，并设置分割输出分支将特征金字塔特征与编码器最后一层语义特征相加融合后输出分割结果，从而实现对纳米级缺陷及不规则形态缺陷的精准识别。