一种先进制程的界面污染自动识别方法及装置

本发明涉及半导体先进工艺制程检测与失效分析技术领域，尤其涉及一种先进制程的界面污染自动识别方法及装置，包括：获取目标界面区域的扫描电子显微镜图像、透射电子显微镜图像及能谱数据；对多模态数据执行空间对齐操作，得到统一坐标系下的多模态对齐数据；从对齐数据中提取纹理特征、衬度特征和元素特征；将上述特征输入预先训练的分类模型，识别出疑似污染区域并确定污染类别及置信度；输出污染类别、位置信息及置信度，并将识别结果回写至案例库供后续模型训练或复核调用。本发明实现了多模态数据的自动融合与联合分析，提高了界面污染识别的效率、准确率和一致性。