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半导体结构及其制造方法、电子设备
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§ Ⅰ
개요
IPC 분류
H10B 12/00 (2023.01)
本公开实施例公开了一种半导体结构及其制造方法、电子设备。该方法包括:在衬底上交替堆叠第一绝缘层和第二绝缘层形成堆叠层;形成贯穿堆叠层的第一孔、第二孔和第一沟槽;基于第二孔横向刻蚀第一绝缘层,形成沿第一方向间隔排布的多个第一凹槽;在第一凹槽的内壁依次形成阻挡层和牺牲层;基于第二孔和第一凹槽,形成覆盖第二孔及第一凹槽内壁的初始半导体层,以及覆盖初始半导体层并填充第二孔及第一凹槽的栅极结构;基于第一孔及第一沟槽,去除牺牲层,并保留位于第一凹槽内的阻挡层,暴露出初始半导体层朝向第一孔和第一沟槽的侧壁;去除暴露的初始半导体层的侧壁,以形成半导体层。