一种电阻单元、电阻测试系统以及方法

本申请提供了一种电阻测试单元、系统以及方法，涉及半导体技术领域。测试单元包括：叠层结构；介质层；介质层形成在叠层结构上；两个测试通孔；两个测试通孔贯穿介质层，且与叠层结构相接触，用于测试叠层结构的电阻；沿垂直于叠层结构厚度的方向，叠层结构在两个测试通孔之间的区域具有预设层数；其中，预设层数小于或等于叠层结构中膜的层数。本申请能够测量叠层结构中膜层与膜层之间的接触电阻。