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기록
半导体晶体管器件及其制造方法
발명알 수 없음
1조회수
15청구항 · 10 독립항
§ Ⅰ
개요
IPC 분류
H10D 30/60 (2025.01)H10D 30/01 (2025.01)H10D 64/27 (2025.01)H10D 64/23 (2025.01)
本申请涉及一种半导体晶体管器件(10),包括:半导体本体(20),例如碳化硅(SiC)半导体本体(21);在半导体本体(20)的第一侧(20.1)上的绝缘层(30);绝缘层(30)上的金属化(40);其中金属化层(40)包括阻挡层(41)和布置在阻挡层(41)上的上层(42),其中接触孔(35)与绝缘层(30)相交,接触孔(35)具有宽度w,其中阻挡层(41)具有厚度t,其至少是接触孔的宽度w的一半,t ≥ w/2。
§ Ⅵ
특허 도면
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