SGT器件的制造方法

本申请公开了一种SGT器件的制造方法，包括：提供一衬底，衬底的背面形成有背封层，形成SGT器件的正面结构；进行预清洗，背封层被去除；在衬底的背面形成第一保护膜；进行化学镀，在衬底的正面和侧壁形成镀层，在化学镀后，所述第一保护膜被去除；进行机械研磨，衬底的背面被减薄。本申请无需改变化学镀液配方或增加复杂的设备改造，即可解决SGT器件制造过程中的预清洗工序与化学镀工序相互制约的缺陷，有利于提升产品的良率并保障正常生产流片。