柔性衬底CdTe电池的三维定域激光退火方法及装置

本发明涉及柔性衬底CdTe电池技术领域，具体公开一种柔性衬底CdTe电池的三维定域激光退火方法及装置，采用三维定域激光退火，对柔性衬底CdTe电池基础结构的吸收层、背接触缓冲层的三维空间区域进行差异化退火，与现有技术相比，本发明凭借激光退火在时间与空间上的精准热解耦优势，实现对柔性衬底CdTe电池吸收层及背接触缓冲层的精准、高效掺杂，有效抑制传统高温退火带来的缺陷积累与热扩散问题，进而制备出高光电转换效率的柔性衬底CdTe电池，破解了柔性衬底与高温处理工艺不兼容的技术瓶颈，解决了平面激光退火导致的表面掺杂过浓、深度掺杂不足的问题，改善掺杂均匀性，同时提升了电池的稳定性与制备效率。