一种异质结电池TCO叠层组件、其制备方法及光伏器件

本申请提供了一种异质结电池TCO叠层组件、其制备方法及光伏器件，所述的异质结电池TCO叠层组件至少包括由所述近硅基侧向所述近电极侧的方向依次层叠设置的掺氧空位导电层、含镁导电层与掺氢导电层。本申请采用三层TCO复合结构，底层为梯度氧空位掺杂层，中间层为高迁移率、低阻传导层，顶层为原位氢钝化层，解决了传统TCO膜层导电性与钝化性能难以兼得的矛盾，显著降低了方块电阻，减少非晶硅层的损伤。