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加热台、芯片转移设备及芯片转移方法
발명알 수 없음
10조회수
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§ Ⅰ
개요
발명자
白忠飞; 闫俊伟; 王成飞; 陈仲林; 李连松; 曹康; 裴光辉; 任泽; 董士豪; 邓俊冬; 王文超; 王子溪
출원일
Apr 1, 2025
공개일
Oct 16, 2026
IPC 분류
H10H 29/03 (2025.01)H10H 20/01 (2025.01)
本公开提供了一种加热台、芯片转移设备及芯片转移方法,涉及显示技术领域。该加热台包括:温控组件和承载台,温控组件包括温控板、加热组件和冷却组件,加热组件和冷却组件层叠设置在温控板内,且加热组件包括多个加热单元;承载台支撑在温控组件上,且用于承载接收基板;承载台远离温控组件的一侧表面具有对应于每个加热单元的温控区,每个加热单元可以单独控制,以实现对温控区的独立控制。本公开实施方式中,可通过加热单元对承载台上的接收基板进行局部预加热,提高特定位置的发光芯片的转移良率;另外,可通过冷却组件对接收基板进行冷却,提高发光芯片的转移效率。