一种通过冠醚辅助的四-（甲乙胺基）锆和四-（甲乙胺基）铪混合物作为前驱体形锆铪氧化物薄膜的方法

本发明涉及一种通过冠醚辅助的四‑（甲乙胺基）锆和四‑（甲乙胺基）铪混合物作为前驱体形锆铪氧化物薄膜的方法。通过选择合适的冠醚化合物与四‑（甲乙胺基）锆和四‑（甲乙胺基）铪按计量进行物理混和，所得的混合物作为前驱体通过ALD工艺技术形成优质锆铪氧化物薄膜。本申请通过笼状、大位阻冠醚的限域阻隔以及与前驱体之间的弱配位作用，消弱前驱体分子间作用力，从而使四‑（甲乙胺基）锆和四‑（甲乙胺基）铪表现出几乎一致的蒸汽压，二者在冠醚中形成的混合物作为前驱体通过ALD技术形成的锆铪氧化物薄膜中，锆和铪原子比例与混合物前驱体中四‑（甲乙胺基）锆和四‑（甲乙胺基）铪的摩尔比一致。