衬底加工装置

衬底加工装置，具有改善的排放效率和加工再现性，包括：多个反应器；多个排放端口，分别与多个反应器连通且关于反应器对称地布置；以及多个排放通道，与多个排放端口连通，其中每个排放通道包括多个排放通道，包括在第一方向上延伸的第一通道和在与第一方向不同的第二方向上延伸的第二通道，其中多个排放通道延伸穿过支撑多个反应器的至少一部分的部件。