晶圆清洗干燥设备

本发明公开了晶圆清洗干燥设备，属于晶圆清洗设备技术领域，包括架设在晶圆清洗台上的遮断环形板、升降转动架台和供气供液组件；供气供液组件包括导流柱、柔性导流板和多个直线驱动组件；导流柱穿过连接筒形成环形气流腔；导流柱与升降转动架台连接；多个直线驱动组件周向设置在导流柱侧面，其驱动末端位于导流柱底部；多个内侧导流弧板的外弧边与外侧导流弧环的内环边固定连接；每个直线驱动组件的驱动末端位于两个内侧导流弧板之间，与外侧导流弧环铰接，并通过连杆组件与导流柱传动连接。该设备优化了供气相关部件的结构，在不同清洗干燥环节中提供适配的气体状态，有效解决大晶圆小图案的冲洗液滞留问题，提升了清洗干燥效果。