基板保持装置以及基板贴合装置

本发明提供一种基板保持装置，该基板保持装置具备：保持板，将基板保持于保持面；多个致动器，与保持板连结，使保持板至少在保持面的法线方向上变形；底板，支承多个致动器；工作台主体，支承底板；以及机构，配置于工作台主体与底板之间，根据在底板产生的多个致动器的反作用力而变形。还可以提供一种基板贴合装置，其具备所述基板保持装置和保持其他基板的基板保持部，通过基板保持装置和基板保持部中的至少一方以接近另一方的方式移动，使基板与其他基板贴合。