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封装结构的制作方法、封装结构及电子设备

발명알 수 없음
10청구항 · 3 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

刘星华; 吕敬; 李明超; 王朝阳; 吴冰; 李永强; 唐利成

출원일

Jul 20, 2026

공개일

Oct 16, 2026

IPC 분류

H10W 70/05 (2026.01)H10W 70/685 (2026.01)H10W 70/63 (2026.01)H10W 70/652 (2026.01)H10W 70/65 (2026.01)

本申请提供一种封装结构的制作方法、封装结构及电子设备,涉及半导体技术领域,所述方法包括:提供第一基板和第二基板,第一基板包括相对设置的第一表面及第二表面,第二基板包括相对设置的第三表面及第四表面;在第一基板的第一表面形成多个间隔设置的第一盲孔,在第二基板的第三表面形成多个间隔设置的第二盲孔;在第一盲孔内形成第一导电柱;在第二盲孔内形成第二导电柱;对第一基板的第二表面进行抛光处理,暴露出第一导电柱;对第二基板的第四表面进行抛光处理,暴露出第二导电柱;将第一基板和第二基板键合,使第一导电柱与第二导电柱电连接,如此,可以降低导电柱填充难度、减少填充缺陷,提升封装结构的可靠性。