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一种多层金刚石基板的生产方法及封装基板

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§ Ⅰ

개요

발명자

岳长来; 何福权

출원일

Sep 14, 2026

공개일

Oct 16, 2026

IPC 분류

H10W 70/05 (2026.01)H10W 70/685 (2026.01)H10W 40/00 (2026.01)H10W 40/25 (2026.01)

本发明公开了一种多层金刚石基板的生产方法及封装基板,方法包括:将原料基板覆盖上金刚石薄膜后得到第一基板;对第一基板的金刚石薄膜进行溅镀铜处理后得到第二基板;根据目标压合顺序将第二基板划分为N个压合组;对N个压合组依次进行一次压合处理后得到N个压合基板;将N个压合基板进行二次压合处理后得到多层基板;对多层基板进行后处理得到多层金刚石基板。通过将金刚石薄膜覆在基板上,从而增加基板的硬度,能够满足封装基板的高硬度需求;在金刚石薄膜上溅镀铜后进行线路制作,线路产生的热量通过金刚石进行散出,封装基板的散热性能好,进而增加封装基板的可靠性和稳定性。