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感光性元件及其制造方法、抗蚀剂图案的制造方法以及导体图案的制造方法
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§ Ⅰ
개요
IPC 분류
G03F 7/004 (2006.01)G03F 7/09 (2006.01)G03F 7/40 (2006.01)
一种感光性元件(10),其具备:支撑膜(12)、配置于支撑膜(12)上的感光性树脂膜(14)及配置于感光性树脂膜(14)上的保护膜(16),支撑膜(12)及保护膜(16)中的至少一者为与感光性树脂膜(14)相接的平均厚度为30μm以上的聚丙烯膜,感光性树脂膜(14)的平均厚度为80μm以上。