CNIPA.AI
검색으로 돌아가기
기록

感光性元件及其制造方法、抗蚀剂图案的制造方法以及导体图案的制造方法

발명알 수 없음
12조회수
12청구항 · 4 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

桥本周; 向郁夫; 生田壮一; 宇须井厚生

출원일

Feb 7, 2025

공개일

Oct 16, 2026

IPC 분류

G03F 7/004 (2006.01)G03F 7/09 (2006.01)G03F 7/40 (2006.01)

一种感光性元件(10),其具备:支撑膜(12)、配置于支撑膜(12)上的感光性树脂膜(14)及配置于感光性树脂膜(14)上的保护膜(16),支撑膜(12)及保护膜(16)中的至少一者为与感光性树脂膜(14)相接的平均厚度为30μm以上的聚丙烯膜,感光性树脂膜(14)的平均厚度为80μm以上。