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感光性元件及其制造方法、抗蚀剂图案的制造方法以及导体图案的制造方法

발명알 수 없음
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§ Ⅰ

개요

발명자

桥本周; 宇须井厚生; 向郁夫; 生田壮一

출원일

Feb 2, 2026

공개일

Oct 16, 2026

IPC 분류

G03F 7/004 (2006.01)

本发明涉及一种感光性元件及其制造方法,所述感光性元件具备支撑膜、配置于支撑膜上的正型感光性树脂膜及配置于感光性树脂膜上的保护膜,感光性树脂膜的平均厚度为80μm以上,感光性树脂膜含有有机溶剂,所述有机溶剂的含量以感光性树脂膜的总量为基准,为7.0质量%以上且小于18.0质量%。