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固持器和基板收纳容器

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§ Ⅰ

개요

발명자

长谷川晃裕; 须田贵志; 田鹿纱代

출원일

Mar 4, 2025

공개일

Oct 16, 2026

IPC 분류

H10P 72/10 (2026.01)B65D 85/30 (2006.01)

提供一种固持器和基板收纳容器,其通过将树脂流的末端部变更成不与基板接触的部位,能够消除对基板的不良影响。一种固持器(10),其是利用含有树脂的成型材料来注射成型并装配于基板收纳容器的门组的固持器(10),具备:左右一对装配侧板(11),其装配于门组里侧面的安装口并相对置;多块板簧片(13),其并排地架设于该左右一对装配侧板(11)之间;多个保持块(16),其形成于各板簧片(13)的与门组里侧面对置的长片部(14)里侧面,对收纳于基板收纳容器的半导体晶圆的周缘前部进行保持;以及多个引导片(18),其形成于各板簧片(13)的长片部(14)表面,将半导体晶圆的周缘前部导引至保持块(16)。