用于降解废气的等离子体装置中放电管的原位在线自修复系统和控制方法

本发明涉及等离子降解废气技术领域，具体涉及一种用于降解废气的等离子体装置中放电管的原位在线自修复系统和控制方法。一种用于降解废气的等离子体装置中放电管的原位在线自修复系统，包括：修复介质供给单元，用于将前驱体化合物喷向待修复放电管内壁；等离子体发生单元，用于提供等离子体反应区，利用等离子体反应区的径向温度梯度，使前驱体化合物在放电管内壁发生反应并原位化学沉积，在放电管内壁表面构成耐腐蚀牺牲层。本发明通过原位在线沉积的耐腐蚀牺牲层，动态抵消废气降解产生的含氟腐蚀性介质对管壁的化学刻蚀作用，能够使放电管使用寿命提升数倍，大幅降低停机换管频次。