减压干燥装置、减压干燥方法以及物品制造方法

提供使基板减压干燥的减压干燥装置，其特征在于，该减压干燥装置具有容器、对上述容器的内部进行减压的排气机构、与由设在上述容器内部的基板保持部保持的基板相向地配置并设有开口的顶板、与上述顶板相接并包围上述基板保持部的第1构件、包围上述第1构件的第2构件以及驱动上述第1构件的驱动部，上述第1构件包括第1贯通孔，上述第2构件包括连接在与上述容器的内部相连的气体流路上的第2贯通孔，上述驱动部将上述第1构件驱动至第1位置以及第2位置，该第1位置是上述第1贯通孔投影到上述第2构件上的投影区域不与上述第2贯通孔重叠的位置，该第2位置是上述投影区域的至少一部分与上述第2贯通孔重叠的位置。