掩膜版卡夹清洗设备及其清洗方法

本申请提供一种掩膜版卡夹清洗设备及其清洗方法，本申请提供的掩膜版卡夹清洗设备，其通过设置旋转机构和升降机构，升降机构用于驱动喷头从掩膜版卡夹的底部开口上升至掩膜版卡夹的内部，实现对掩膜版卡夹的内部进行清洗。同时，旋转机构在喷淋时驱动喷头或掩膜版卡夹旋转，实现旋转喷淋，覆盖掩膜版卡夹的内部的各个角落，减少清洗死角，提升清洗效果。同时，喷淋介质包括去离子水和压缩空气，去离子水和压缩空气通过同一管路和同一喷头同时对掩膜版卡夹的内部喷淋，有利于降低去离子水的用量，降低成本，并提升喷淋冲击力度，提升对顽固性杂质的去处效果，降低杂质掉落至掩膜版上的风险。