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一种通气结构的加工方法、通气结构、供气产品

발명알 수 없음
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10청구항 · 9 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

姚力军; 朱锦程; 陆雪姚

출원일

Aug 21, 2026

공개일

Oct 20, 2026

IPC 분류

B23P 15/00 (2006.01)C23C 16/455 (2006.01)

本申请涉及一种通气结构的加工方法、通气结构、供气产品,涉及供气领域,包括:对目标坯料依次进行第一车削加工和第二车削加工,得到通气结构;通气结构包括:依次连通的第一通道、渐扩结构和第二通道;第一通道的直径<第二通道的直径;第一车削加工形成第一通道;第二车削加工形成渐扩结构和第二通道;第一车削加工中最后一刀次车削时从第一通道的末端向始端加工;第二车削加工中最后一刀次车削时从渐扩结构的末端向第二通道的始端加工;第二车削加工中所用刀具的主偏角为100‑105°。本申请提供的加工方法,能够确保气流在通气结构内具备较为稳定的流速,从而实现溅射所得膜层具有良好的厚度均匀性。

§ Ⅵ

특허 도면

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