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一种抗沉降型研磨液及其制备方法
발명알 수 없음
10청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ
개요
IPC 분류
C09K 3/14 (2006.01)
本申请涉及研磨液领域,尤其是涉及一种抗沉降型研磨液及其制备方法。本申请在水基研磨液的基础上,通过咪唑类离子液体的加入,在保持其整体润湿性和分散性的同时,降低了研磨和使用过程中气泡的生成,使体系可以兼顾防沉降性能的同时减少气泡的生成,提供了更好的研磨效果稳定性、更低的气泡生成性能以及对工件、设备以及环境更友好的性质。
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