一种金属-非金属复合涂层及其制备方法和应用

本发明公开了一种金属‑非金属复合涂层及其制备方法和应用，属于材料技术领域。所述复合涂层包括交替层叠的MeX层和Me层；Me、Me分别独立地选择自Ti、Al、Cr、Zr、Hf、W、Mo、Ta、Sc、Ni、V中的至少一种；MeX为金属Me的硼化物、碳化物、氮化物或氧化物；Me层中的至少部分金属Me与MeX层中的X形成MeX；所述MeX层和Me层的层数均大于或等于3层。本发明所述复合涂层的硬度与韧性不随金属层的厚度或层数的增加而产生明显下降，可在较高的金属层厚度或层数仍维持较高的硬度和韧性水平，大大扩展纳米多层/超晶格涂层的工艺窗口。