一种具有骨架结构的金刚石膜-金属氧化物气敏材料及其制备方法和应用

本发明公开了一种具有骨架结构的金刚石膜‑金属氧化物气敏材料及其制备方法和应用，属于气敏传感技术领域。本发明的具有骨架结构的金刚石膜‑金属氧化物气敏材料的制备方法，包括以下步骤：在具有多孔泡沫结构的金属氧化物材料表面沉积硼掺杂金刚石膜，随炉冷却，得到具有骨架结构的金刚石膜‑金属氧化物气敏材料。本发明制备的具有骨架结构的金刚石膜‑金属氧化物气敏材料具备金刚石膜优异的耐高温、耐强酸、强碱等特性，可在极端环境下稳定工作。基于该气敏材料制备的气敏传感器适用于氢气、一氧化碳及挥发性有机气体的检测，具有良好的稳定性和可靠性，适合在极端环境气体监测领域推广应用。