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石英炉管及其处理方法

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§ Ⅰ

개요

발명자

张生利; 许炜炜; 李种玉; 刘瑞珉; 王永谦

출원일

Jun 30, 2026

공개일

Oct 20, 2026

IPC 분류

C23C 16/44 (2006.01)H10F 71/00 (2025.01)H10P 72/00 (2026.01)C23C 16/30 (2006.01)C23C 16/34 (2006.01)C23C 16/24 (2006.01)F27D 7/02 (2006.01)

本发明涉及光伏电池领域,尤其涉及一种石英炉管及其处理方法。其中,石英炉管包括管体,该管体的内壁上设置应力过渡层。应力过渡层包括依次层叠于内壁上的内层和外源硅层,内层的热膨胀系数小于外源硅层的热膨胀系数,且内层的热膨胀系数大于等于管体的热膨胀系数。实施本发明,可减少石英炉管内壁膜层的破裂、掉落,提升电池片的制造良率,延长印刷网版的使用寿命。