一种用于单晶硅半导体晶片掺杂剂加掺装置及其方法

本发明公开了一种用于单晶硅半导体晶片掺杂剂加掺装置及其方法，属于单晶硅制备技术领域；其包括重锤，所述重锤固定连接有石墨夹头，所述重锤上固定安装有挂壁，所述挂壁缠绕连接有钨丝绳，所述挂壁卡接有安装块，所述安装块固定连接有安装杆，所述安装杆卡接有石英伞盖，所述石英伞盖内开有多个物料腔，所述石英伞盖固定开有多组第一漏槽，多组所述第一漏槽的位置和数量与物料腔相对。本发明采用预制石英伞盖结构，无需等待籽晶结晶形成伞盖，从根本上消除了结晶时间不确定、杂质挥发量难以预估的问题，通过石英伞盖的熔融过程控制加掺时机，能够实现加掺时间的精确可控，显著提升硅单晶头部电阻率的一致性与可重复性。