掩模干燥装置及利用该掩模干燥装置的掩模干燥方法

本发明涉及一种掩模干燥装置及利用该掩模干燥装置的掩模干燥方法。一种掩模干燥装置，包括：第一板；第一加热部件，在第一板的内部沿第一板的边缘延伸；第一空气喷嘴，布置于第一板的第一表面并排出空气；第二加热部件，在第一板的内部绕开第一空气喷嘴并在平面上横穿第一板；第二板，布置在第一板上；以及第二空气喷嘴，布置于第二板的第一表面并排出空气。