一种高精度的智能传感系统

本发明公开一种高精度的智能传感系统，属于智能传感器、人工智能及工业物联网技术领域，该系统包括同一硅基底上集成的非对称双冗余微机电系统感知微结构，参考单元通过钝化层及封装结构与目标测量场隔离，仅感知温度与老化叠加信号，构建内部相对物理基准，差分预处理模块计算主动单元与参考单元的差分信号，物理机理引导神经网络漂移解耦模块基于嵌入热力学方程与应力松弛方程的损失函数，将环境漂移与本征老化漂移正交解耦，混合修正输出模块对人工智能残差补偿量施加Lipschitz连续性约束及预设阈值，合成修正测量结果，本发明无需外部基准源即可实现自校准，实现漂移机理级分离，并使补偿结果具备确定性误差界限。