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一种MEMS压力传感器封装用塑料管壳及制造方法
발명알 수 없음
10청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ
개요
IPC 분류
G01L 1/22 (2006.01)B81B 7/00 (2006.01)B81C 1/00 (2006.01)G01L 9/04 (2006.01)G01L 19/14 (2006.01)
本发明涉及微电子封装技术领域，具体来说是一种MEMS压力传感器封装用塑料管壳及制造方法，提出的塑料管壳设计和制造方法，其包括Lead/Frame引线框架材料和设计结构，环氧树脂塑料壳体所用材料和设计结构；本发明提出的塑料管壳结构设计及制造方法解决了传统预制造管壳MEMS压阻式压力传感器封装粘接面为环氧树脂塑料在温湿度变化时应力/应变对传感器输出性能的影响，提升了MEMS压阻式压力传感器输出精度及稳定性。
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