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基于光斑传播特性的激光模组误差诊断及自动校准系统
발명알 수 없음
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§ Ⅰ
개요
IPC 분류
G01M 11/02 (2006.01)
本发明涉及激光光源装调与光学检测技术领域,具体公开基于光斑传播特性的激光模组误差诊断及自动校准系统。系统包括:装配工装对中模块,借助参考光源与双光阑标定基准光轴并实现工装对中;光束传播模型建立模块,构建双截面检测光路以建立空间光束传播模型;误差解耦诊断模块,从模型中分离平移误差与倾角误差并判定是否满足公差要求,同时识别误差类型;误差自动校准模块,根据误差类型驱动XYZ平移平台或Tilt姿态平台进行补偿并循环迭代。本发明实现了平移与倾角误差的完全解耦诊断,并能根据误差根因自动匹配补偿机构进行闭环校准,有效剥离了机械工装累积误差,适用于高精度激光模组的自动化装调。
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