一种半导体石英管表面微缺陷检测方法及系统

本发明涉及半导体制造技术领域，具体为一种半导体石英管表面微缺陷检测方法及系统，方法包括以下步骤，提取深度时间轴与探头空间坐标生成三维标签并拼接序列构建三维矩阵，基于无缺陷序列构建特征基线，计算异常参数与基线偏差以筛选疑似序列，将疑似序列与基准波形剥离出表面与内部信号，依据能量占比及标签生成结果。本发明中，通过将混叠的疑似复合信号序列进行局部基准匹配剥离以精确拆解高度重叠的成分信号，精准区分纵向物理深度差极小的真实微裂纹与近表层杂质，有效剔除内部杂质对表面响应的混叠干扰成分，避免将内部杂质误判为表面缺陷或将真实表面瑕疵误判为内部特征，保障复杂服役工况下微缺陷判定结果的精确性。