一种具有温度补偿功能的钟摆式光纤流速传感器

本发明公开了一种具有温度补偿功能的钟摆式光纤流速传感装置及其制备方法，属于光纤传感技术领域。该流速传感装置的感知单元位于单模光纤端面，包括具有高热光系数的刚性部分，刚性部分具有镂空结构；镂空结构内设有柔性悬臂梁，悬臂梁末端与胶球连接；光纤端面的流速感知单元为三光束干涉结构。待测流体横向流过镂空结构时，流体冲击力推动胶球使悬臂梁发生弯曲形变，该形变引起干涉腔的光程差变化；同时刚性材料对温度敏感，其热膨胀或收缩引起附加光程差变化，二者共同调制三光束干涉光谱的相位。通过相位解调算法分离流速引起的应变与温度各自对相位的贡献，分别获得流速与温度数据。本发明利用飞秒激光双光子聚合技术直接在光纤端面微加工集成，结构微型化、响应快速、制备简便，可广泛应用于微流控、微管道及生物医学等领域的局部流速与温度同步监测。