一种半导体静态测试系统及方法

本申请涉及一种半导体静态测试系统及方法，涉及半导体器件测试的技术领域；其系统包括主机、源单元、测试板和测量单元；源单元部署于远离被测器件处，用于提供测试激励；测试板输入端与源单元输出端电连接，用于根据通道切换指令将测试激励路由至目标路径；测量单元输入端与测试板输出端电连接，且部署于比源单元更靠近被测器件处，用于对被测器件端电参数采样并执行本地闭环控制；主机通过第一通信链路分别与源单元、测试板及测量单元通信连接，用于下发配置指令和通道切换指令并接收测试结果，还通过第二通信链路与上述各单元通信连接，用于传输实时协同动作指令。本申请具有在提高静态测试精度的同时降低多通道测试系统扩展成本的效果。