光波导模块

一种光波导模块，包括基板、耦入光栅结构、耦出光栅结构以及转折光栅结构。耦入光栅结构、耦出光栅结构以及转折光栅结构设置于基板上，且转折光栅结构位于耦入光栅结构与耦出光栅结构之间。转折光栅结构具有多个第一子区，各第一子区设置有子光栅结构及覆盖层，覆盖层覆盖子光栅结构，在切过子光栅结构及覆盖层的剖面图中，定义覆盖层与子光栅结构的面积比为覆盖层占比率，且多个第一子区具有不同的覆盖层占比率。