微机电系统（MEMS）器件及其操作方法

本公开涉及微机电系统（MEMS）器件及其操作方法。提供了一种MEMS器件。MEMS器件包括被配置为关于多个振荡轴振荡的可动结构。附加地，MEMS器件包括被配置为引起可动结构关于多个振荡轴的运动的梳状驱动致动器。此外，MEMS器件包括被配置为测量可动结构关于多个振荡轴的运动的传感器。MEMS器件包括控制电路装置，控制电路装置被配置为执行以下一项或多项：a）在其中传感器测量可动结构关于振荡轴中的一个振荡轴的运动的测量时间窗口期间，控制梳状驱动致动器将用于其他振荡轴的相应的驱动电压维持在恒定电平；以及b）丢弃传感器在由针对振荡轴中的任一振荡轴的驱动电压的切换事件所启动的感测抑制时间窗口中针对振荡轴中的一个振荡轴所测量的运动。