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激光修复装置
발명알 수 없음
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§ Ⅰ
개요
IPC 분류
G02B 27/09 (2006.01)G02B 26/08 (2006.01)
根据实施方式,修复对象体的不良的激光修复装置包括:激光束生成部,发射激光束;光束扩展器,接收所述激光束,并且以截面面积被扩展的激光束射出;数字微镜装置,包括接收从所述光束扩展器射出的所述激光束并且将所述激光束分散成多光束射出的多个微镜;以及透镜部,接收所述多光束并会聚所述多光束,以照射到所述对象体,入射到所述数字微镜装置的所述激光束的截面具有能够覆盖所述多个微镜的整体区域的尺寸。