应用于光学邻近效应修正模型的通用性检测方法及装置

本申请实施例提供一种应用于光学邻近效应修正模型的通用性检测方法及装置。方法包括：获取原始光学邻近效应修正模型，原始光学邻近效应修正模型包括原始光学参数；基于原始光学邻近效应修正模型，对半导体测试版图进行光学仿真，得到第一仿真结果；获取目标光学参数；根据目标光学参数，调整原始光学邻近效应修正模型得到更新光学邻近效应修正模型；基于更新光学邻近效应修正模型，对半导体测试版图进行光学仿真，得到第二仿真结果；当第一仿真结果与第二仿真结果之间的仿真偏移量不超过预设偏移阈值时，原始光学邻近效应修正模型具有通用性。通过上述技术特征的设置，能够提高光学邻近效应修正模型的通用性检测的效率和简便性。