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기록

一种点样区域局部微环境精准控制罩及控制方法

발명알 수 없음
10청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

房国庆; 范一强; 屈海军; 江林霞; 杨烁

출원일

Jul 20, 2026

공개일

Oct 20, 2026

IPC 분류

G05D 27/02 (2006.01)G05B 11/42 (2006.01)

本发明公开了一种点样区域局部微环境精准控制罩及控制方法,涉及高精密流体分配与微纳制造技术领域。该控制罩包括:罩体,内部具有微环境腔室,顶部设有供点样针穿过的中心通道;气帘形成装置,设置于罩体底部外边缘,用于向下喷射高速气流形成环形气帘;以及温湿度检测装置,用于实时采集点样靶区的温湿度数据。其控制方法包括预调节、闭环稳态、动态点样和随动保持四个阶段。本发明在点样针尖与基底之间构建体积小于10立方厘米的局部微气候,通过双气流结构,实现点样靶区温湿度的精准快速控制,提高了控制精度,降低了响应时间,且不干扰皮升级液滴飞行轨迹,消除了“咖啡环”效应,显著提升了样品阵列的一致性。

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