一种倾斜刻蚀调控方法与应用

本发明涉及一种倾斜刻蚀调控方法与应用，属于微刻蚀技术领域。本发明通过在刻蚀区域附近添加一个金属调制器，改变待刻蚀区域附近的电场分布，从而改变刻蚀离子的移动方向。本发明可通过定制不同的金属调制器类型，实现可控的倾斜刻蚀。