一种用于透射电镜的耦合式二轴压电位移台

本发明公开了一种用于透射电镜的耦合式二轴压电位移台，包括机械位移台、二轴压电位移台和样品夹持端，二轴压电位移台包括X轴基座、X轴压电位移台、Y轴基座和Y轴压电位移台，机械位移台X轴输出端与X轴基座连接，X轴基座通过X轴压电堆栈、X轴柔性铰链结构与X轴压电位移台连接，X轴压电位移台与Y轴基座连接，Y轴基座通过Y轴压电堆栈、Y轴柔性铰链结构与样品夹持端连接；X轴压电堆栈产生对X轴柔性铰链结构的驱动力使二轴压电位移台在X轴方向通过样品夹持端移动样品，Y轴压电堆栈产生对Y轴柔性铰链结构的驱动力使二轴压电位移台在Y轴方向通过样品夹持端移动样品，本发明提供的位移台可以在纳米级稳定位移，保持力大、行程长。