一种垂直入射高灵敏度高速雪崩光电探测器及其制备方法

本发明提供一种垂直入射高灵敏度高速雪崩光电探测器，包括：衬底；在衬底沿第一方向的一侧上设有第一接触层，在第一接触层上设有台面结构，台面结构包括依次叠置的本征传输层、N型电荷层、倍增层、P型电荷层、渡越层、吸收层、渐变层、光窗层与第二接触层；扩散有源区，开设于光窗层和第二接触层的中部且呈圆柱通孔；钝化保护层，覆盖于第一接触层与台面结构；N电极，与钝化保护层并列布设于第一接触层上；P电极，设于台面结构顶部的钝化保护层中部，且贯通至扩散有源区。