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压电元件、压电装置以及压电元件的制造方法
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§ Ⅰ
개요
IPC 분류
H10N 30/30 (2023.01)H04R 17/02 (2006.01)H10N 30/87 (2023.01)H10N 30/88 (2023.01)H10N 30/50 (2023.01)H10N 30/853 (2023.01)H10N 30/063 (2023.01)H10N 30/071 (2023.01)
压电元件具有输出与压力相应的压力检测信号的振动部,具备:支承体;及振动部,配置于支承体上,构成为包含压电膜、与压电膜连接而取出通过压电膜变形所产生的电荷的电极膜,振动部具有被支承于支承体的支承区域、与支承区域相连并从支承体浮动的一个以上的振动区域,一个以上的振动区域将作为与支承区域的边界的一端部设为固定端,将另一端部设为自由端,一端部侧的区域被设为第一区域,另一端部侧的区域被设为第二区域,电极膜形成于第一区域,压电元件具备使压力检测信号的检测精度提高的提高部,一个以上的振动区域形成有促进第一区域的变形的变形促进构造作为提高部,变形促进构造通过第一区域的一端部为具有角部的形状而构成。